TY  - BOOK
AU  - Grove,A.S.
AU  - Phạm,Trung Dũng
TI  - Vật lí và công nghệ các dụng cụ bán dẫn
U1  - 537.6 14
PY  - 1978///
CY  - H.
PB  - KHGD
KW  - Công nghệ bán dẫn
KW  - Dụng cụ bán dẫn
KW  - Vật lý
KW  - Mechatronics Engineering Technology
KW  - Electronics
N2  - Các khái niệm cơ bản về vật lí và công nghệ các dụng cụ planar silic; Quá trình công nghệ chất rắn; Nghiên cứu các chất bán dẫn và dụng cụ bán dẫn, hiệu ứng bề mặt và các dụng cụ điều khiển bề mặt
ER  -