Chế tạo và khảo sát một số tính chất của màng mỏng ZnO : Al và màng mỏng ZnO:Mn bằng phương pháp phún xạ RF Magneton : Đề tài NCKH. QT.03.05 /
Preparation and investigation of properties of Al-doped and Mn-doped ZnO films deposited by R.F magneton sputtering
Tạ Đình Cảnh
- H. : ĐHKHTN, 2004
- 27 tr.
Đề tài nghiên cứu và chế tạo màng Zn pha tạp Al (thuộc nhóm III) để làm tăng độ dẫn điện và tính ổn định của màng, đồng thời khảo sát tính chất quang, huỳnh quang của nó. Nghiên cứu và chế tạo màng ZnO pha tạp Mn (thuộc nhóm 3d) với các nồng độ
Chất bán dẫn Hoá lý Chemical Engineering and Technology Chemistry, Physical and theoretical.