TY  - BOOK
AU  - Nguyễn,Năng Định
TI  - Vật lý và kỹ thuật màng mỏng
U1  - 533 23
PY  - 2006///
CY  - H.
PB  - ĐHQGHN
KW  - Cơ học chất khí
KW  - Kỹ thuật chân không
KW  - Kỹ thuật màng mỏng
KW  - Vật lý
UR  - http://dlib.vnu.edu.vn/iii/cpro/DigitalItemViewPage.external?lang=vie&sp=1041273&sp=T&sp=Pall%2CRu1000001%40%2CQlc_01387&suite=def
ER  -