TY  - BOOK
AU  - May,Gary S
AU  - Spanos, Costas J.
TI  - Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control
SN  - 0471784060
AV  - TK7871.85 M379 2006
U1  - 621.3815/2 22
PY  - 2006///
CY  - Hoboken, N.J., Chichester
PB  - IEEE Wiley-Interscience, John Wiley [distributor]
KW  - Integrated circuits
KW  - Design and construction
KW  - Process control
KW  - Statistical methods
KW  - Semiconductors
KW  - Mechatronics Engineering Technology
KW  - Chất bán dẫn
KW  - Mạch tích hợp
KW  - Phương pháp thống kê
KW  - Điều khiển học
KW  - Điện tử
N1  - Formerly CIP. |5 Uk; Includes bibliographical references and index
ER  -