TY - BOOK AU - Lê,Trung Thành AU - Nguyễn,Mạnh Cường AU - Nguyễn,Hồng Quang AU - Trần,Cao Quyền AU - Nguyễn,Hoàng Nam AU - Nguyễn,Văn Khởi TI - Nghiên cứu, thiết kế cảm biến y sinh quang tích hợp sử dụng cấu trúc vi cộng hưởng trên ống dẫn sóng nano silic: Đề tài NCKH. QG.15.30 U1 - 621.36 23 PY - 2017/// CY - Hà Nội PB - Viện Quốc tế Pháp ngữ KW - Cảm biến sinh học KW - Thiết kế KW - Cảm biến điện từ KW - Quang học KW - Ứng dụng công nghiệp KW - Cảm biến KW - Mechatronics Engineering Technology KW - Mechatronics N2 - Thiết kế, đề xuất cấu trúc cảm biến y sinh quang tích hợp mới dựa vào cấu trúc vi cộng hưởng sử dụng ống dẫn nano silic. Các cấu trúc cảm biến y sinh mới có ưu điểm đo đa kênh, độ nhạy cao và giới hạn đo thấp so với các cảm biến khác. Đề tài cũng đưa ra quy trình chế tạo cảm biến y sinh theo công nghệ vi mạch CMOS. Do đó cảm biến này còn có ưu điểm kích thước nhỏ ngọn, rẻ tiền và phù hợp cho chế tạo hàng loạt. Việc thiết kế tối ưu các cấu trúc cảm biến được thực hiện trên máy tính dùng kết hợp các công cụ mô phỏng số FDTD, FEM và BMP ER -