000 03505nam a2200613 p 4500
001 vtls000043910
003 VRT
005 20240802184419.0
008 101206 000 0 eng d
035 _aVNU040052617
039 9 _a201502080048
_bVLOAD
_c201111040917
_dyenh
_y201012062335
_zVLOAD
040 _aVNU
041 _avie
044 _aVN
072 _aQT01.32
082 _a530
_bTA-C 2002
090 _a530
_bTA-C 2002
100 1 _aTạ, Đình Cảnh,
_d1949-
245 1 0 _aChế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO :
_bĐề tài NCKH. QT01.32 /
_cTạ Đình Cảnh
246 _aFabrication and investigation of gas sensor based on ZnO material
260 _aH. :
_bĐHKHTN,
_c2002
300 _a24 tr.+
_ePhụ lục
500 _aNếu đề tài được cấp thêm kinh phí sẽ khảo sát tính ổn định và tăng độ nhạy của senso khí hyđro này.
520 _aChế tạo bia ZnO từ bột ZnO của hãng Merck bằng phương pháp gốm truyền thống trên các thiết bị của dự án OPEC.
520 _aChế tạo màng Pd bằng phương pháp bốc bay nhiệt trong chân không, độ dày của màng kim loại biến đổi từ vài chục đến hơn một trăm nanômet.
520 _aChế tạo tổ hợp của cấu trúc sensơ nhạy khí Pd/ZnO/p-Si và Pd/ZnO/Zn.
520 _aKhảo sát tính chất của màng ZnO và màng Pd.
520 _aLàm chủ được thiết bị Univex - 450 của hãng Leybold
520 _aĐánh giá độ nhạy của các senso đã chế tạo trong buồng đo với các nồng độ khí hyđro khác nhau.
520 _aĐể thực hiện được mục tiêu nêu ở trên, để tài đã giải quyết được các vấn đề sau: Chế tạo màng ZnO có chất lượng cao bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron trên thiết bị Univex -450 của hãng Leybold
653 _aChất bán dẫn
653 _aPhương pháp chế tạo màng ZnO
653 _aVật liệu bán dẫn
700 1 _aNguyễn, Duy Phương
700 1 _aNguyễn, Sỹ Hải
900 _aTrue
911 _aĐinh Lan Anh
912 _aHoàng Thị Hoà
914 1 _aData KHCN
_bThư mục kỉ niệm 100 năm ĐHQGHN
925 _aG
926 _a0
927 _aĐT
942 _c16
951 1 _aĐHQG
953 1 _a12/2001-12/2002
959 1 _aChế tạo thành công 02 loại cấu trúc sensơ nhaỵ khí hyđro Pd/ZnO/p-Si và Pd/ZnO/Zn và khảo sát tính chất nhạy khí hyđro với các nồng độ hyđro khác nhau từ 2000-20000 ppm.
959 1 _aChế tạo thành công các loại bia ZnO và ZnO pha tạp trên đế p-Si và đế thuỷ tinh bằng phương pháp phún xạ r.f.magnetron trên thiết bị Univex-450.
959 1 _aChế tạo thành công màng Pd với các độ dày khác nhau bằng phương pháp bốc bay nhiệt trong chân không trên thiết bị Univex-300.
959 1 _aĐưa các thiết bị chế tạo màng mỏng bằng phún xạ catốt Univex - 450 và bốc bay nhiệt trong chân không Univex-300 vào hoạt động có hiệu quả.
959 1 _aHướng dẫn 01 luận văn cao học, 01 nghiên cứu sinh
959 1 _aHướng dẫn 02 khoá luận tốt nghiệp
959 1 _aKhảo sát các tính chất của các màng ZnO trên đế thuỷ tinh.
961 1 _aĐHKHTN
_bKhoa Vật lý
999 _c342128
_d342128