Chế tạo và khảo sát các Senso khí trên cơ sở vật liệu ZnO : Đề tài NCKH. QT01.32 / Tạ Đình Cảnh

By: Contributor(s): Material type: TextTextLanguage: Vietnamese Publication details: H. : ĐHKHTN, 2002Description: 24 tr.+ Phụ lụcOther title:
  • Fabrication and investigation of gas sensor based on ZnO material
Subject(s): DDC classification:
  • 530 TA-C 2002
Summary: Chế tạo bia ZnO từ bột ZnO của hãng Merck bằng phương pháp gốm truyền thống trên các thiết bị của dự án OPEC.Summary: Chế tạo màng Pd bằng phương pháp bốc bay nhiệt trong chân không, độ dày của màng kim loại biến đổi từ vài chục đến hơn một trăm nanômet.Summary: Chế tạo tổ hợp của cấu trúc sensơ nhạy khí Pd/ZnO/p-Si và Pd/ZnO/Zn.Summary: Khảo sát tính chất của màng ZnO và màng Pd.Summary: Làm chủ được thiết bị Univex - 450 của hãng LeyboldSummary: Đánh giá độ nhạy của các senso đã chế tạo trong buồng đo với các nồng độ khí hyđro khác nhau.Summary: Để thực hiện được mục tiêu nêu ở trên, để tài đã giải quyết được các vấn đề sau: Chế tạo màng ZnO có chất lượng cao bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron trên thiết bị Univex -450 của hãng Leybold
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Item type Current library Call number Copy number Status Date due Barcode
Đề tài Phòng DVTT Tổng hợp Kho báo, tạp chí, tra cứu 530 TA-C 2002 (Browse shelf(Opens below)) 1 Available DT/00155

Nếu đề tài được cấp thêm kinh phí sẽ khảo sát tính ổn định và tăng độ nhạy của senso khí hyđro này.

Chế tạo bia ZnO từ bột ZnO của hãng Merck bằng phương pháp gốm truyền thống trên các thiết bị của dự án OPEC.

Chế tạo màng Pd bằng phương pháp bốc bay nhiệt trong chân không, độ dày của màng kim loại biến đổi từ vài chục đến hơn một trăm nanômet.

Chế tạo tổ hợp của cấu trúc sensơ nhạy khí Pd/ZnO/p-Si và Pd/ZnO/Zn.

Khảo sát tính chất của màng ZnO và màng Pd.

Làm chủ được thiết bị Univex - 450 của hãng Leybold

Đánh giá độ nhạy của các senso đã chế tạo trong buồng đo với các nồng độ khí hyđro khác nhau.

Để thực hiện được mục tiêu nêu ở trên, để tài đã giải quyết được các vấn đề sau: Chế tạo màng ZnO có chất lượng cao bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron trên thiết bị Univex -450 của hãng Leybold

There are no comments on this title.

to post a comment.